臺階儀的工作原理。臺階儀主要的工作就是測量，當(dāng)臺階儀的觸針在被測的物體表面輕輕滑過時，被接觸的物體表面微小的峰谷就會讓觸針在進(jìn)行滑行的同時也做一些上下運動。因此表面輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運動情況所體現(xiàn)出來。當(dāng)輸出的信號經(jīng)過測量的電橋之后，輸出的信號與觸針的平衡位子的位移此刻成正比，調(diào)幅的信號也就隨之出現(xiàn)，經(jīng)過放大和整流之后，位移信號就從調(diào)幅信號中解調(diào)出來了，信號就變得相應(yīng)緩慢，半導(dǎo)體厚度測試臺階儀，也就能在控制器中被讀出來。隨之噪音濾波器以及波度濾波器會對調(diào)制頻率以及外界的干擾信號等因素進(jìn)行進(jìn)一步的過濾，誤差所帶來的影響也隨之減小。
典型應(yīng)用：太陽能電池、太陽能集熱器等 PVD(物理 氣相沉積)太陽能涂層研究，對薄膜材料常規(guī)性能的檢測臺階膜厚儀
它廣泛應(yīng)用于太陽能薄膜材料、半導(dǎo)體硅片、微電子器件、薄膜化學(xué)涂層、平板顯示器等研究領(lǐng)域。在新型薄膜材料的開發(fā)研究工作上極為重要。
美國KLA-Tencor公司
在四十年來半導(dǎo)體及相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展中，KLA-Tencor作為工藝控制領(lǐng)域的行業(yè)領(lǐng)跑者，借助**的光學(xué)技術(shù)、精準(zhǔn)的傳感器系統(tǒng)以及高性能計算機(jī)信息處理技術(shù)，持續(xù)研發(fā)并不斷完善檢測、量測設(shè)備及數(shù)據(jù)智能分析系統(tǒng)。
生產(chǎn)，品牌AlphaStep，型號 D-300臺階儀
主要產(chǎn)品特性：
1)垂直分辨率: 0.38A
2) Z測量重復(fù)精度:保證5A重復(fù)性(1um臺階標(biāo)樣，無需防震臺，用2um探針驗收)
3)掃描時*小正壓力: 0.5mg (軟件可編程選擇和自動控制,無需手動)
4)采樣點數(shù)400,000
5)探針曲率半徑2微米
6)有KLA-Tencor標(biāo)定證書的1um標(biāo)樣一塊
7)斜視光學(xué)系統(tǒng)，500萬像素彩色攝像頭Keystone圖像糾正
8)系統(tǒng)配有150x150mm口徑的超大超厚超光滑平晶
9）具有雙向掃描測量的功能
更多技術(shù)參數(shù)歡迎來電及提供樣品測試服務(wù)。
